常用的丁香福利导航体激发频率有三种：激发频率为40kHz的丁香福利导航体为超声丁香福利导航体，13.56MHz的丁香福利导航体为射频丁香福利导航体，2.45GHz的丁香福利导航体为微波丁香福利导航体。 不同丁香福利导航体产生的自偏压不一样，超声丁香福利导航体的自偏压为1000V左右，射频丁香福利导航体的自偏压为250V左右，微波丁香福利导航体的自偏压很低，只有几十伏，而且三种丁香福利导航体的机制不同。
超声丁香福利导航体(40KHZ)发生的反应为物理反应，射频丁香福利导航体(13.56MHZ)发生的反应既有物理反应又有化学反应，微波丁香福利导航体(2.45GHZ)发生的反应为化学反应。
超声丁香福利导航体清洗对被清洁表面产生的影响大，因而实际半导体生产应用中大多采用射频丁香福利导航体清洗和微波丁香福利导航体清洗。
超声丁香福利导航则应用于表面除胶、毛刺打磨，材料亲水等处理方面，典型的丁香福利导航体物理清洗工艺是在反应腔体中加入氩气作为辅助处理的丁香福利导航体清洗；氩气本身是惰性气体，丁香福利导航体的氩气不和表面发生反应，而是通过离子轰击使表面清洁。
以物理反应为主的丁香福利导航体清洗，也叫做溅射腐蚀（SPE）或离子铣（IM），其优点在于本身不发生化学反应，清洁表面不会留下任何的氧化物，可以保持被清洗物的化学纯净性,典型的丁香福利导航体化学清洗工艺是氧气丁香福利导航体清洗。通过丁香福利导航体产生的氧自由基非常活泼，容易与碳氢化合物发生反应，产生二氧化碳、一氧化碳和水等易挥发物，从而去除表面的污染物。
射频丁香福利导航体清洗，通过加入不同的气体，可以使表面反应机制中物理反应和化学反应都起重要作用，即反应离子腐蚀或反应离子束腐蚀，两种清洗可以互相促进，离子轰击使被清洗表面产生损伤削弱其化学键或者形成原子态，容易吸收反应剂，离子碰撞使被清洗物加热，使之更容易产生反应；
2.45G的微波丁香福利导航目前国内用的比较少。
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